Quantus LP100 氣體分析儀 

實(shí)時(shí)終點(diǎn)檢測(cè)和檢漏

INFICON Quantus LP100 氣體分析儀可在關(guān)鍵過(guò)程環(huán)境中進(jìn)行實(shí)時(shí)檢漏和終點(diǎn)檢測(cè)。許多過(guò)程對(duì)泄漏都很敏感，或要求進(jìn)行終點(diǎn)檢測(cè)。Quantus LP100 是一種氣體分析儀，專(zhuān)門(mén)用于實(shí)時(shí)應(yīng)對(duì)敏感過(guò)程環(huán)境中的細(xì)微變化，以*大限度地減少報(bào)廢，提高產(chǎn)出。

功能

• 方便的現(xiàn)場(chǎng)可更換等離子單元
• 使用標(biāo)準(zhǔn) KF25 連接方便地安裝
• 更低的維護(hù)成本
• 低至 ppm 級(jí)的出色檢測(cè)下限
• 工作范圍為 10 mTorr 至 1 Torr
• 長(zhǎng)期可靠性：無(wú)需泵
• 低擁有成本
• 快速的 10 Hz 采樣頻率
• 精致小巧（高 x 寬 x 長(zhǎng)）87 x 151 x 241 mm (3.4 x 5.9 x 9.5 in.)
• 有經(jīng)驗(yàn)的現(xiàn)場(chǎng)培訓(xùn) INFICON 工程師提供支持